Информация
Название | Нанотехнологии. Часть 6. Характеристики нанообъектов и методы их определения Термины и определения |
---|---|
Дата актуализации текста | 01.01.2021 |
Дата актуализации описания | 01.01.2021 |
Дата издания | 21.09.2020 |
Дата введения в действие | 01.07.2017 |
Область и условия применения | Настоящий стандарт является частью серии стандартов ISO/TS 80004 и устанавливает термины и определения понятий в области нанотехнологий, относящихся к характеристикам нанообъектов и методам их определения |
Опубликован | Официальное издание. М.: Стандартинформ, 2020 |
Утверждён в | Росстандарт |
ГОСТ ISO/TS 80004-6-2016
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
НАНОТЕХНОЛОГИИ
Часть 6
Характеристики нанообъектов и методы их определения
Термины и определения
Nanotechnologies. Part 6. Characteristics of nano-objects and methods for determination. Terms and definitions
МКС 01.040.07
07.030
Дата введения 2017-07-01
Предисловие
Цели, основные принципы и общие правила проведения работ по межгосударственной стандартизации установлены ГОСТ 1.0 "Межгосударственная система стандартизации. Основные положения" и ГОСТ 1.2 "Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Правила разработки, принятия, обновления и отмены"
Сведения о стандарте
1 ПОДГОТОВЛЕН Федеральным государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт стандартизации и сертификации в машиностроении" (ВНИИНМАШ) на основе собственного перевода на русский язык англоязычной версии документа, указанного в пункте 5
2 ВНЕСЕН Межгосударственным техническим комитетом по стандартизации МТК 441 "Нанотехнологии"
3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации (протокол от 25 октября 2016 г. N 92-П)
За принятие проголосовали:
Краткое наименование страны по МК (ИСО 3166) 004-97 | Код страны по | Сокращенное наименование национального органа по стандартизации |
Беларусь | BY | Госстандарт Республики Беларусь |
Киргизия | KG | Кыргызстандарт |
Россия | RU | Росстандарт |
Таджикистан | TJ | Таджикстандарт |
4 Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 9 ноября 2016 г. N 1647-ст межгосударственный стандарт ГОСТ ISO/TS 80004-6-2016 введен в действие в качестве национального стандарта Российской Федерации с 1 июля 2017 г.
5 Настоящий стандарт идентичен международному документу ISO/TS 80004-6:2013* "Нанотехнологии. Словарь. Часть 6. Характеристики нанообъектов" ("Nanotechnologies - Vocabulary - Part 6: Nano-object characterization", IDT).
________________
* Доступ к международным и зарубежным документам, упомянутым в тексте, можно получить, обратившись в Службу поддержки пользователей. - Примечание изготовителя базы данных.
Наименование настоящего стандарта изменено относительно наименования указанного международного документа для приведения в соответствие с ГОСТ 1.5 (подраздел 3.6).
Международный документ разработан техническим комитетом по стандартизации ISO/TC 229 "Нанотехнологии" Международной организации по стандартизации (ISO).
Стандарт подготовлен на основе применения ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013*
_______________
* Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 9 ноября 2016 г. N 1647-ст ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013 отменен с 1 июля 2017 г.
6 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
7 ПЕРЕИЗДАНИЕ. Август 2020 г.
Информация о введении в действие (прекращении действия) настоящего стандарта и изменений к нему на территории указанных выше государств публикуется в указателях национальных стандартов, издаваемых в этих государствах, а также в сети Интернет на сайтах соответствующих национальных органов по стандартизации.
В случае пересмотра, изменения или отмены настоящего стандарта соответствующая информация будет опубликована на официальном интернет-сайте Межгосударственного совета по стандартизации, метрологии и сертификации в каталоге "Межгосударственные стандарты"
Введение
Методы измерений и современные приборы позволили открыть мир нанотехнологий. Определив характеристики, можно понять свойства и функциональную направленность применения нанообъектов.
Для определения характеристик нанообъектов важно взаимодействие специалистов и ученых, осуществляющих свою деятельность в различных областях, например материаловедении, биологии, химии, физике, а также имеющих различный опыт работы - как экспериментальной, так и теоретической. Информация о характеристиках нанообъектов и возможности их определения необходима и для представителей проверяющих органов и специалистов в области токсикологии. С целью обеспечения правильного понимания специалистами информации о характеристиках нанообъектов, а также для обмена сведениями о результатах измерений необходимо уточнение понятий и установление стандартизованных терминов и соответствующих определений.
В настоящем стандарте термины распределены по следующим разделам:
- раздел 2 "Основные термины и определения";
- раздел 3 "Термины и определения понятий, относящихся к размерам нанообъектов и методам их определения";
- раздел 4 "Термины и определения понятий, относящихся к методам химического анализа";
- раздел 5 "Термины и определения понятий, относящихся к методам определения других характеристик нанообъектов".
Наименования этих разделов сформулированы только для своеобразного руководства по поиску терминов в настоящем стандарте, так как некоторые термины относятся к методам, с помощью которых можно определить более одной характеристики нанообъектов, и их можно поместить в другие разделы стандарта. В подразделе 3.1 приведены основные термины раздела 3, которые использованы в определениях других терминов данного раздела, в том числе терминов, относящихся к устройствам, применяемым для определения характеристик нанообъектов.
Большинство методов предусматривает проведение измерений в специальных условиях, включая и соответствующую подготовку исследуемых объектов, например необходимость размещения нанообъектов на специальной поверхности, в жидкой среде или вакууме, что может повлечь за собой изменение характеристик нанообъектов.
Порядок расположения терминов, относящихся к методам определения характеристик нанообъектов, в настоящем стандарте не указывает на преимущественное применение определенных методов, и перечень этих терминов не является исчерпывающим. Методы, термины которых установлены в настоящем стандарте, более распространены, и их чаще применяют для определения тех или иных характеристик нанообъектов, чем другие. В таблице 1 приведены наиболее распространенные методы, применяемые для определения характеристик нанообъектов.
Таблица 1 - Наиболее распространенные методы, применяемые для определения характеристик нанообъектов
Характеристика | Методы |
Размер | Атомно-силовая микроскопия (АСМ), центробежное осаждение частиц в жидкости (ЦОЖ), система анализа дифференциальной электрической подвижности частиц (САДЭП), динамическое рассеяние света (ДРС), растровая электронная микроскопия (РЭМ), анализ траекторий движения частиц (АТДЧ), просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ) |
Форма | Атомно-силовая микроскопия (АСМ), растровая электронная микроскопия (РЭМ), просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ) |
Площадь поверхности | Метод Брунауэра, Эммета и Теллера (метод БЭТ) |
Химические характеристики поверхности объекта | Масс-спектрометрия вторичных ионов (МСВИ), рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС) |
Химический состав объекта | Масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой (ИСП-МС), спектроскопия ядерного магнитного резонанса (ЯМР-спектроскопия) |
Электрокинетический потенциал частиц в суспензии | Определение дзета-потенциала |
Настоящий стандарт предназначен для применения в качестве основы для разработки других стандартов на термины и определения в области нанотехнологий, затрагивающих вопросы определения характеристик нанообъектов.
Установленные в настоящем стандарте термины расположены в систематизированном порядке, отражающем систему понятий в области нанотехнологий, относящихся к характеристикам нанообъектов и методам их определения.
Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин.
Нерекомендуемые к применению термины-синонимы приведены в круглых скобках после стандартизованного термина и обозначены пометой "Нрк".
Термины-синонимы без пометы "Нрк" приведены в качестве справочных данных и не являются стандартизованными.
Приведенные определения можно при необходимости изменять, вводя в них произвольные признаки, раскрывая значения используемых в них терминов, указывая объекты, относящиеся к определенному понятию. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятий, определенных в настоящем стандарте.
В стандарте приведены иноязычные эквиваленты стандартизованных терминов на английском языке.
В стандарте приведен алфавитный указатель терминов на русском языке, а также алфавитный указатель эквивалентов терминов на английском языке.
Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы, представленные аббревиатурой, и иноязычные эквиваленты - светлым, синонимы - курсивом.
1 Область применения
Настоящий стандарт является частью серии стандартов ISO/TS 80004 и устанавливает термины и определения понятий в области нанотехнологий, относящихся к характеристикам нанообъектов и методам их определения.
2 Основные термины и определения
2.1
нанодиапазон: Диапазон линейных размеров приблизительно от 1 до 100 нм. | nanoscale |
Примечания 1 Верхнюю границу этого диапазона принято считать приблизительной, так как в основном уникальные свойства нанообъектов за ней не проявляются. 2 Нижнее предельное значение в этом определении (приблизительно 1 нм) введено для того, чтобы исключить из рассмотрения в качестве нанообъектов или элементов наноструктур отдельные атомы или небольшие группы атомов. [ISO/TS 80004-1:2010, статья 2.1] |
2.2
нанообъект: Материальный объект, линейные размеры которого по одному, двум или трем измерениям находятся в нанодиапазоне (2.1). | nano-object |
Примечание - Данный термин распространяется на все дискретные объекты, линейные размеры которых находятся в нанодиапазоне. [ISO/TS 80004-1:2010, статья 2.5] |
2.3
наночастица: Нанообъект (2.2), линейные размеры которого по всем трем измерениям находятся в нанодиапазоне (2.1). | nanoparticle |
Примечание - Если по одному или двум измерениям размеры нанообъекта значительно больше, чем по третьему измерению (как правило, более чем в три раза), то вместо термина "наночастица" можно использовать термины "нановолокно" (2.6) или "нанопластина" (2.4). [ISO/TS 27687:2008, статья 4.1] |
2.4
нанопластина: Нанообъект (2.2), линейные размеры которого по одному измерению находятся в нанодиапазоне (2.1), а размеры по двум другим измерениям значительно больше. | nanoplate |
Примечания 1 Наименьший линейный размер - толщина нанопластины. 2 Размеры по двум другим измерениям значительно больше и отличаются от толщины более чем в три раза. 3 Наибольшие линейные размеры могут находиться вне нанодиапазона. [ISO/TS 27687:2008, статья 4.2] |
2.5
наностержень: Твердое нановолокно (2.6). | nanorod |
2.6
нановолокно: Нанообъект (2.2), линейные размеры которого по двум измерениям находятся в нанодиапазоне (2.1), а по третьему измерению значительно больше. | nanofibre |
Примечания 1 Нановолокно может быть гибким или жестким. 2 Два сходных линейных размера по двум измерениям не должны отличаться друг от друга более чем в три раза, а размеры по третьему измерению должны превосходить размеры по первым двум измерениям более чем в три раза. 3 Наибольший линейный размер может находиться вне нанодиапазона. [ISO/TS 27687:2008, статья 4.3] |
2.7
нанотрубка: Полое нановолокно (2.6). | nanotube |
2.8
квантовая точка: Нанообъект, линейные размеры которого по трем измерениям близки длине волны электрона в материале данного нанообъекта и внутри которого потенциальная энергия электрона ниже, чем за его пределами, при этом движение электрона ограничено во всех трех измерениях. [ISO/TS 27687:2008, статья 4.7] | quantum dot |
2.9
частица: Мельчайшая часть вещества с определенными физическими границами. | particle |
Примечания 1 Физическая граница может также быть описана как межфазная область взаимодействия (интерфейс). 2 Частица может перемещаться как единое целое. 3 Настоящее общее определение частицы применимо к нанообъектам (2.2). [ISO 14644-6:2007, статья 2.102, ISO/TS 27687:2008, статья 3.1] |
2.10
агломерат: Совокупность слабо связанных между собой частиц (2.9), или их агрегатов (2.11), или тех и других, площадь внешней поверхности которой равна сумме площадей внешних поверхностей ее отдельных компонентов. | agglomerate |
Примечания 1 Силы, скрепляющие агломерат в одно целое, являются слабыми и обусловленными, например силами взаимодействия Ван-дер-Ваальса, или простым физическим переплетением частиц друг с другом. 2 Агломераты также называют "вторичные частицы", а их исходные составляющие называют "первичные частицы". [ISO/TS 27687:2008, статья 3.2] |
2.11
агрегат: Совокупность сильно связанных между собой или сплавленных частиц (2.9), общая площадь внешней поверхности которой может быть значительно меньше вычисленной суммарной площади поверхности ее отдельных компонентов. | aggregate |
Примечания 1 Силы, удерживающие частицы в составе агрегата, являются более прочными и обусловленными, например ковалентными связями, или образованными в результате спекания или сложного физического переплетения частиц друг с другом. 2 Агрегаты также называют "вторичные частицы", а их исходные составляющие - "первичные частицы". [ISO/TS 27687:2008, статья 3.3] |
2.12
аэрозоль: Дисперсная система, состоящая из твердых или жидких частиц (2.9), взвешенных в газе.
| aerosol |
2.13
суспензия: Жидкая неоднородная система, в которой дисперсной фазой являются мелкие частицы твердого вещества.
| suspension |
3 Термины и определения понятий, относящихся к размерам нанообъектов и методам их определения
3.1 Термины и определения понятий, относящихся к размерам и форме нанообъектов
3.1.1
размер частицы: Линейный размер частицы (2.9), определенный соответствующими методом и средствами измерений в заданных условиях. | particle size |
Примечание - Разные методы анализа основаны на измерении различных физических характеристик частиц. Независимо от характеристик частицы всегда можно определить ее линейные размеры, например, эквивалентный диаметр сферической частицы. [ISO 26824:2013, статья 1.5] |
3.1.2
распределение частиц по размерам: Распределение частиц (2.9) в зависимости от их размеров (3.1.1). | particle size distribution |
Примечание - Термин "распределение частиц по размерам" обозначает то же понятие, что и термины "функция распределения частиц по размерам" и "распределение концентрации частиц в зависимости от их размеров" (количественное распределение частиц по размерам получают, относя число измеренных частиц определенного размерного класса к общему количеству измеренных частиц). [ISO 14644-1:1999, статья 2.2.4, определение термина изменено] |
3.1.3
форма частицы: Внешнее геометрическое очертание частицы (2.9). | particle shape |
3.1.4
аспектное соотношение: Отношение длины частицы (2.9) к ее ширине. | aspect ratio |
3.1.5
эквивалентный диаметр: Диаметр сферического объекта, оказывающий такое же воздействие на средство измерения для определения распределения частиц по размерам, что и измеряемая частица (2.9). | equivalent diameter |
Примечания 1 Физические свойства, к которым относят эквивалентный диаметр, обозначают с помощью соответствующего индекса (ISO 9276-1:1998 [2]). 2 Для дискретного счета частиц приборами, работающими на принципе рассеяния света, используют эквивалентный оптический диаметр. 3 Другие характеристики материала, такие как плотность, используют для расчета эквивалентного диаметра частицы, например, как в уравнении Стокса при определении зависимости между размером частицы и временем ее оседания в жидкости. Значения характеристик материала, используемые для расчета, должны быть представлены дополнительно. 4 С помощью измерительных приборов инерционного типа определяют аэродинамический диаметр. Аэродинамический диаметр - это диаметр сферы плотностью 1000 кг/м [ISO/TS 27687:2008, статья А.3.3, определение термина изменено] |
3.2 Термины и определения понятий, относящихся к методам рассеяния света
3.2.1
радиус инерции: Мера распределения массы объекта вокруг оси, проходящей через его центр, выраженная отношением квадратного корня из момента инерции относительно данной оси к массе объекта. | radius of gyration |
Примечание - Для определения характеристик нанообъектов (2.2), например размеров частиц (3.1.1), необходимо определить значение радиуса инерции с помощью методов статического рассеяния света, например, малоуглового нейтронного рассеяния (3.2.2) или малоуглового рентгеновского рассеяния (3.2.4). [ISO 14695:2003, статья 3.4] |
3.2.2 малоугловое нейтронное рассеяние; МНР: Метод исследования объекта, основанный на измерении интенсивности рассеянного пучка нейтронов на объекте при малых значениях углов рассеяния. | small angle neutron scattering; SANS |
Примечание - Рекомендуемый диапазон углов рассеяния составляет от 0,5 до 10° и соответствует возможности определения структуры материала, а также определения размеров рассеивающих неоднородностей в диапазоне от 1 до 100 нм. Метод позволяет получать информацию о размерах частиц (2.9) и форме диспергированных в однородной среде частиц. | |
3.2.3 дифракция нейтронов: Явление упругого рассеяния нейтронов, применяемое для исследования атомной или магнитной структуры вещества. | neutron diffraction |
Примечание - В методах измерений, основанных на дифракции нейтронов, регистрируют нейтроны с энергией, примерно совпадающей с энергией падающих нейтронов. С помощью сформированной в процессе исследования дифракционной картины получают информацию о структуре вещества. |
3.2.4
малоугловое рентгеновское рассеяние; МРР: Метод исследования объекта, основанный на измерении интенсивности рассеянного рентгеновского излучения, проходящего через объект, при малых значениях углов рассеяния. | small angle X-ray scattering; SAXS |
Примечание - Рекомендуемый диапазон углов рассеяния составляет от 0,1° до 10° и соответствует возможности определения структуры макромолекул, а также определения размеров рассеивающих неоднородностей в диапазоне от 5 до 200 нм. [ISO 18115-1, статья 3.18] |
3.2.5
рассеяние света: Преобразование распределения светового потока на границе раздела двух сред, имеющих разные оптические свойства. [ISO 13320:2009, статья 3.1.17] | light scattering |
3.2.6 гидродинамический диаметр: Эквивалентный диаметр (3.1.5) частицы (2.9), имеющей то же значение коэффициента диффузии в жидкой среде, что и реальная частица в этой среде. | hydrodynamic diameter |
3.2.7 динамическое рассеяние света; ДРС; фотонная корреляционная спектроскопия; ФКС; квазиупругое рассеяние света; КРС: Метод определения размеров частиц (3.1.1) в суспензии (2.13), основанный на анализе изменения интенсивности рассеянного света частицами (2.9), находящихся в броуновском движении, при зондировании исследуемого объекта лазерным лучом. | dynamic light scattering; DLS; photon correlation spectroscopy; PCS; quasi-elastic light scattering; QELS |
Примечания 1 Проведя анализ временной зависимости интенсивности рассеянного света, можно определить коэффициент диффузии и, следовательно, размеры частиц, например гидродинамический диаметр (3.2.6), по формуле Стокса - Эйнштейна. 2 Данный метод применяют для определения размеров наночастиц (2.3) и частиц в диапазоне от 1 до 6000 нм. Верхний предел диапазона ограничен наличием броуновского движения и осаждением частиц. | |
3.2.8 анализ траекторий движения наночастиц; АТДН; анализ траекторий движения частиц; АТДЧ: Метод определения размеров частиц (3.1.1), основанный на исследовании траекторий перемещения облученных сфокусированным пучком лазера частиц (2.9), находящихся в броуновском движении в суспензии (2.13). | nanoparticle tracking analysis; NTA; particle tracking analysis; РТА |
Примечания 1 Проведя анализ временной зависимости интенсивности рассеянного света движущихся частиц, можно определить коэффициент диффузии и, следовательно, размеры частиц, например гидродинамический диаметр (3.2.6), по формуле Стокса - Эйнштейна. 2 Данный метод применяют для определения размеров наночастиц (2.3) и частиц в диапазоне от 10 до 2000 нм. Нижний предел диапазона ограничен показателем преломления частиц, а верхний предел диапазона - наличием броуновского движения и осаждением частиц. |
3.3 Термины и определения понятий, относящихся к устройствам, применяемым для определения характеристик аэрозольных нанообъектов
3.3.1
счетчик конденсированных частиц; СКЧ: Устройство, измеряющее счетную концентрацию частиц (2.9) в аэрозоле (2.12). | condensation particle counter; СPC |
Примечания |
3.3.2
классификатор дифференциальной электрической подвижности частиц; КДЭП: Устройство, распределяющее аэрозольные частицы (2.9) по размерам в соответствии с их электрической подвижностью и регистрирующее частицы только определенных размеров. | differential electrical mobility classifier; DEMC |
Примечание - Принцип распределения частиц по размерам в КДЭП основан на уравновешивании электрического заряда каждой частицы с силой ее аэродинамического сопротивления при прохождении через электрическое поле. Электрическая подвижность частиц зависит от их размеров, режимов работы и формы КДЭП. Размер частицы можно определить по числу зарядов на ней. [ISO 15900:2009, статья 2.7] |
3.3.3
система анализа дифференциальной электрической подвижности частиц; САДЭП: Система, применяемая для измерения распределения субмикронных частиц (2.9) аэрозоля по размерам, состоящая из КДЭП, нейтрализатора, счетчика частиц, соединительных трубок, компьютера и программного обеспечения.
| differential mobility analysing system; DMAS |
3.3.4
электрометр с цилиндром Фарадея; ЭЦФ: Устройство для измерения электрических зарядов аэрозольных частиц (2.9). | Faraday-cup aerosol electrometer; FCAE |
Примечание - Цилиндр Фарадея состоит из приемника заряженных аэрозольных частиц, помещенного в экранирующий заземленный каркас и соединенного с электрометром и счетчиком частиц. |
3.4 Термины и определения понятий, относящихся к методам разделения веществ
3.4.1 проточное фракционирование в силовом поле; ПФП: Метод разделения и анализа частиц (2.9), основанный на явлении распределения частиц суспензии (2.13), пропускаемой через узкий канал, в соответствии с их размерами и подвижностью под действием внешнего силового поля. | field flow fractionation; FFF |
Примечания 1 Силовое поле может быть различной природы, например, гравитационным, центробежным, электрическим, магнитным. 2 В процессе ПФП или после его завершения с помощью соответствующего устройства определяют размеры нанообъектов (2.2) и их распределение по размерам. | |
3.4.2 центробежное осаждение частиц в жидкости; ЦОЖ; дифференциальное центрифугирование; ДЦ: Метод разделения частиц жидкости в зависимости от их размеров и плотности под действием центробежных сил в сепарирующем роторе центрифуги. | centrifugal liquid sedimentation; CLS; differential centrifugal sedimentation; DCS |
Примечание - В зависимости от плотности частиц (2.9) с помощью ЦОЖ можно выделить частицы размером от 2 нм до 10 мкм для дальнейшего определения их размеров и распределения частиц по размерам (3.1.2). ЦОЖ обеспечивает одновременное выделение частиц, отличающихся друг от друга по размерам не более чем на 2%. |
3.4.3
гель-проникающая хроматография; ГПХ: Вид жидкостной хроматографии, в котором разделение веществ основано на элюировании молекул определенного гидродинамического объема в колонке хроматографа, заполненной пористым неадсорбирующим материалом, размеры пор которого соответствуют размерам этих молекул. | size-exclusion chromatography; SEC |
Примечание - ГПХ можно применять совместно с методом для определения размеров и распределения по размерам объектов по динамическому рассеянию света (ДРС) (3.2.7). [ISO 16014-1:2012, статья 3.1] |
3.4.4 метод электрочувствительной зоны; метод Коултера: Метод определения распределения частиц по размерам и размеров частиц (2.9), находящихся в растворе электролита, основанный на измерении импульса электрического напряжения, возникающего при прохождении частицы через отверстие малого диаметра в непроводящей перегородке (стенке ампулы). | electrical zone sensing; Coulter counter |
Примечания 1 Амплитуда импульса напряжения пропорциональна объему частицы, прошедшей через отверстие. 2 Прохождение частицы через отверстие происходит под действием давления потока жидкости (электролита) или электрического поля. 3 Для определения размеров нанообъектов (2.2) необходимо, чтобы размер отверстия соответствовал размерам нанодиапазона (2.1). |
3.5 Термины и определения понятий, относящихся к методам микроскопии
В данном подразделе в кратких формах терминов, представленных аббревиатурой, буква "М" означает "микроскопия" или "микроскоп" в зависимости от контекста.
3.5.1
сканирующая зондовая микроскопия; СЗМ: Метод исследования объекта с помощью микроскопа, формирующего изображение объекта путем механического перемещения зонда и регистрации взаимодействия между зондом и поверхностью объекта. | scanning-probe microscopy; SPM |
Примечания 1 Термин "сканирующая зондовая микроскопия" является общим термином для таких понятий, как "атомно-силовая микроскопия" (АСМ) (3.5.2), "сканирующая оптическая микроскопия ближнего поля" (СОМБП) (3.5.4), "сканирующая микроскопия ионной проводимости" (СМИП) и "сканирующая туннельная микроскопия" (СТМ) (3.5.3). 2 С помощью микроскопов, применяемых в различных методах СЗМ, можно получать изображения объектов с пространственным разрешением от атомарного, например в СТМ, до 1 мкм, например, в сканирующей термомикроскопии. [ISO 18115-2, статья 4.31] |
3.5.2
атомно-силовая микроскопия; ACM (Нрк. сканирующая силовая микроскопия; ССМ): Метод исследования объекта с помощью микроскопа, формирующего изображение объекта в результате регистрации силы взаимодействия зондового датчика (кантилевера) с поверхностью объекта в процессе сканирования. | atomic-force microscopy; AFM; scanning force microscopy (deprecated); SFM (deprecated) |
Примечания 1 С помощью АСМ можно исследовать объекты из проводниковых и диэлектрических материалов. 2 В процессе работы в некоторых атомно-силовых микроскопах (АСМ) перемещают образец в направлении осей 3 С помощью АСМ можно выполнять измерения в вакуумной, жидкой или контролируемой газовой средах и исследовать объекты с атомарным разрешением в зависимости от образца, размера кантилевера и кривизны его острия, а также соответствующих настроек для получения изображений. 4 С помощью АСМ в процессе сканирования регистрируют силы, действующие на кантилевер, например, продольные и поперечные силы, силы трения и сдвига. Методы АСМ имеют наименования в зависимости от регистрируемой силы, например, поперечно-силовая микроскопия. Термин "атомно-силовая микроскопия" является общим термином для всех понятий методов силовой микроскопии. 5 АСМ регистрирует в конкретных точках силы, действующие на кантилевер со стороны поверхности объекта, и из массива пикселей генерирует изображение объекта. 6 Для исследования нанообъектов применяют АСМ с эффективным радиусом острия кантилевера менее 100 нм. В зависимости от материала исследуемого объекта суммарная сила между острием и объектом должна быть приблизительно 0,1 мкН, в противном случае могут произойти необратимая деформация поверхности объекта и повреждение острия кантилевера. [ISO 18115-2, статья 4.3] |
3.5.3
сканирующая туннельная микроскопия; СТМ: СЗМ (3.5.1), применяемая для исследования рельефа поверхности объекта с помощью микроскопа, формирующего изображение путем регистрации данных о туннелировании носителей заряда сквозь промежуток между исследуемым токопроводящим объектом и сканирующим его поверхность токопроводящим зондом. | scanning tunnelling microscopy; STM |
Примечания 1 С помощью СТМ можно выполнять измерения в вакуумной, жидкой или контролируемой газовой средах, исследовать объекты с атомарным разрешением в зависимости от образца и кривизны острия зонда и получать информацию о плотности состояний атомов поверхности объекта. 2 Изображения могут быть сформированы на основе данных о высоте рельефа поверхности объекта при постоянных значениях туннельного тока или о туннельном токе при постоянных значениях высоты рельефа поверхности объекта, а также на основе других данных в зависимости от режимов взаимодействия зонда и поверхности исследуемого объекта. 3 С помощью СТМ можно получить информацию о локальной туннельной проводимости (туннельной плотности состояний) исследуемого объекта. Следует учитывать, что при изменении положения зонда относительно поверхности объекта получают отличные друг от друга изображения рельефа одной и той же поверхности. [ISO 18115-2, статья 4.35] |
3.5.4
сканирующая оптическая микроскопия ближнего поля; СОМБП; ближнепольная сканирующая оптическая микроскопия; БСОМ: Метод исследования объекта с помощью светового микроскопа, формирующего изображение объекта путем регистрации взаимодействия электромагнитного поля между объектом и оптическим зондом, сканирующим его поверхность, радиус острия которого меньше длины излучаемой световой волны. | near-field scanning optical microscopy; NSOM; scanning near-field optical microscopy; SNOM |
Примечания 1 Зонд микроскопа размещают вблизи поверхности исследуемого объекта и удерживают на постоянном расстоянии. Зонд совершает колебательное движение параллельно поверхности объекта, при этом регистрируют изменения амплитуды и фазы отраженных сигналов и получают информацию о рельефе поверхности объекта. 2 Размер оптического зонда микроскопа зависит от размера отверстия (апертуры) диафрагмы, расположенной на конце зонда. Отверстие диафрагмы имеет размеры в диапазоне от 10 до 100 нм, что и определяет разрешающую способность микроскопа. В зависимости от наличия или отсутствия диафрагмы на конце зонда СОМБП разделяют на апертурные и безапертурные. В безапертурном СОМБП зонд представляет собой заостренное оптическое волокно, покрытое слоем металла, с радиусом на конце от 10 до 100 нм. 3 С помощью СОМБП получают не только растровое изображение объекта, но и информацию о характеристиках рельефа его поверхности, аналогичные тому, которые можно получить с помощью АСМ (3.5.2) и других методов зондовой микроскопии. [ISO 18115-2, статья 4.18] |
3.5.5
растровая электронная микроскопия; РЭМ (Нрк. сканирующая электронная микроскопия; СЭМ): Метод исследования структуры, состава и формы объекта с помощью микроскопа, формирующего изображение объекта путем сканирования его поверхности электронным зондом (электронным пучком) и регистрации характеристик вторичных процессов, индуцируемых электронным зондом (например, вторичная электронная эмиссия, обратное рассеяние электронов и рентгеновское излучение). [ISO 17751, статья 4.10, определение термина изменено] | scanning electron microscopy; SEM |
3.5.6
просвечивающая электронная микроскопия; ПЭМ: Метод исследования объекта с помощью микроскопа, формирующего изображение объекта или его дифракционной картины электронным пучком (электронным зондом), проходящим сквозь этот объект и взаимодействующим с ним. [ISO 29301:2010, статья 3.37, определение термина изменено] | transmission electron microscopy; ТЕМ |
3.5.7